Dynamisk scanning optisk systemoptik: 1 stk. lille fokuslinse, 1-2 stk. fokuslinse, Galvo-spejl. Hele den optiske linse danner en funktion af stråleudvidelse, fokusering og stråleafbøjning og scanning.
Den ekspanderende del er en negativ linse, dvs. en lille fokuslinse, der realiserer stråleudvidelse og bevægelig zoom, mens fokuslinsen er sammensat af en gruppe positive linser. Galvospejlet er et spejl i galvanometersystemet.
(1) Optimering af linsedesign: Optimalt forhold mellem diameter og tykkelse
(2) Høj skadetærskel for linsen: >30J/cm2 10ns
(3) Ultralav absorptionsbelægning, absorptionshastighed: <20 ppm
(4) Forholdet mellem galvanometertykkelse og diameter: 1:35
(5) Linseoverfladenøjagtighed: <= λ/5
Post-objektiv linse
| Maksimal indgangspupil (mm) | Optik 1 Diameter (mm) | Optik 2 Diameter (mm) | Optik 3 Diameter (mm) | Scanningsfelt (mm) | Klar blændeåbning af scanner (mm) | Bølgelængde |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6µm |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Reflekterspejl
| Delbeskrivelse | Diameter (mm) | Tykkelse (mm) | Materiale | Belægning |
| Silikonereflektor | 25.4 | 3 | Silicium | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Silikonereflektor | 30 | 4 | Silicium | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Fiberreflektor | 25.4 | 6,35 | Smeltet silica | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Fiberreflektor | 30 | 5 | Smeltet silica | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Fiberreflektor | 50 | 10 | Smeltet silica | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 25.4 | 6 | Smeltet silica | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 25.4 | 6,35 | Smeltet silica | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 30 | 5 | Smeltet silica | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 50 | 10 | Smeltet silica | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25.4 | 6 | Smeltet silica | HR@355nm og 433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25.4 | 6,35 | Smeltet silica | HR@355nm og 433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25.4 | 10 | Smeltet silica | HR@355nm og 433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 30 | 5 | Smeltet silica | HR@355nm og 433nm, AOI: 45° |
Galvo spejl
| Delbeskrivelse | Maksimal indgangspupil (mm) | Materiale | Belægning | Bølgelængde |
| 55 mm L * 35 mm B * 3,5 mm T-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Silicium | MMR@10.6um | 10,6µm |
| 55 mm L * 35 mm B * 3,5 mm T-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Smeltet silica | HR@1030-1090nm | 1030-1090nm |
| 55 mm L * 35 mm B * 3,5 mm T-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Smeltet silica | HR@532nm | 532nm |
| 55 mm L * 35 mm B * 3,5 mm T-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Smeltet silica | HR@355nm | 355 nm |
Beskyttende linse
| Diameter (mm) | Tykkelse (mm) | Materiale | Belægning |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2,5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
